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Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838651125 Cinematograph

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Description

Cinematograph

Grabpagoden -- Kapitel 3

deren Ergebnisse auch in die Ausführungen der Arbeit einfließen

-- Ruth Benedict

Die Konzepte des Anderen als das Eine der siebenten und achten Position -- 4

Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838651125 CinematographInhaltsangabe: Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si SiGe Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert auf eine Einfhrung in die Untersuchungsmethoden der Oberflchenmorphologie von Nanostrukturen, mittels Atomkraft , Rastertunnel , und Polarisationsmikroskop, gelegt. Diese Arbeit soll fr Interessierte einen erleichterten Einstieg in die

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